SEMICONDUCTOR
Công nghệ bán dẫn
Chi tiết thiết bị bán dẫn

13 hình ảnh
GT TECH gia công các chi tiết cơ khí nằm trong thiết bị sản xuất bán dẫn: thân buồng chân không, tấm đế, bích nối và các cụm gá đặt. Đây là nhóm sản phẩm đòi hỏi khắt khe nhất trong số các ngành chúng tôi phục vụ, vì chi tiết phải giữ được kích thước ổn định khi làm việc trong môi trường chân không và chịu thay đổi nhiệt độ liên tục.
Yêu cầu kỹ thuật
Bề mặt lắp ghép phải phẳng và sạch để đảm bảo độ kín khi hút chân không. Vị trí lỗ ren và mặt định vị cần đúng theo bản vẽ để chi tiết lắp lẫn được giữa các lô sản xuất. Chúng tôi kiểm soát kích thước theo từng công đoạn và lưu hồ sơ đo kiểm cho từng lô giao hàng.
Chi tiết tiêu biểu
- Thân buồng chân không
- Khối nhôm gia công liền, có rãnh gioăng và mặt bích hai đầu.
- Tấm đế và gá đặt
- Tấm định vị nhiều lỗ ren, dùng để lắp cụm cơ cấu bên trong thiết bị.
- Bích nối và mặt bích
- Chi tiết ghép nối giữa các khoang, yêu cầu độ phẳng bề mặt cao.
- Chi tiết dẫn hướng
- Thanh trượt, gối đỡ và chi tiết định vị cho cơ cấu chuyển động.




